技術(shù)特性：
型號：OPTIV PERFORMANCE 322/442/443/662/663/664 443DualZ/663Dual Z/664DualZ
精度 (μm)：Exy： 1.4+L/250 起 1.9+L/250 起
·靈活的光學(xué)鏡頭選擇；電動變焦鏡頭、2-Step Zoom；
·多樣化傳感器，觸發(fā)式接觸測頭，HP-S-X1 連續(xù)掃描測頭；
·PERFORMANCE 系列機(jī)型固定橋式，移動工作臺結(jié)構(gòu)；
·測頭更換架，TTL 同軸激光，共聚焦白光；
·三軸均為中央驅(qū)動，減小阿貝誤差；
·同軸光，透射光，多段表面環(huán)形光；
·配置工業(yè)級黑白或彩色 CCD 相機(jī)；
·雙 Z 軸設(shè)計 (DuaZ 機(jī)型 )；
·HA 或 UHA 高精度機(jī)型可選；
·配備 PC- DMIS VISION 軟件；
·精密滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌；
·白光傳感器，精密轉(zhuǎn)臺。
